Ruthenium-mål

Antioxidant,-korrosionsbestandig og ensartet filmdannende-, hvilket giver en yderst pålidelig tynd-filmaflejringsløsning til halvleder- og datalagringsapplikationer.

Rutheniumforstøvningsmålet er et ædelmetalforstøvningsmål fra platingruppen fremstillet af ruthenium med høj -renhed (Ru) gennem raffinering, smeltning, smedning og præcisionsbearbejdning. Det bruges primært i fysisk dampaflejring (PVD) magnetronforstøvningsprocesser. Dette produkt har et højt smeltepunkt, høj hårdhed, fremragende oxidationsbestandighed og kemisk stabilitet, hvilket muliggør produktion af ensartede og tætte rutheniumfilm. Den finder omfattende applikationer i avanceret halvlederhukommelse, integrerede kredsløbsforbindelser, diffusionsbarrierelag og datalagrings- og displayenheder.

Send forespørgsel

Produktbeskrivelse

Denne serie af rutheniummål er fremstillet af rutheniumråmaterialer med høj-renhed, hvilket opnår høj tæthed og ensartet mikrostruktur gennem buesmeltning og kornforfiningsprocesser. Produkterne er tilgængelige i forskellige konfigurationer, herunder plane mål og roterende mål, og understøtter indium-binding/elastisk krop-bindings-bagpladetjenester, hvilket gør dem velegnede til DC-forstøvningsapplikationer.

Feature

Høj renhed, konventionel kvalitet, tilgængelig i ultra-høj renhedsspecifikationer.
Høj hårdhed, fremragende slidstyrke og overlegen oxidations- og korrosionsbestandighed.

For højt smeltepunkt med fremragende høj-temperaturstabilitet.
Filmen udviser ensartet aflejring og høj densitet, hvilket gør den velegnet til avancerede halvlederfremstillingsprocesser.

Specifikationer og modeller

For tilpassede dimensioner, tykkelse, renhed eller tekniske specifikationer er du velkommen til at kontakte os. Vi kan levere skræddersyede materialeløsninger baseret på dit sputterudstyr, belægningskrav og dimensionelle specifikationer.

Klassifikation Dimension	Produkttype	Kernefunktioner
Renhedsgrad	Forskellige renhedsgrader	Generelle-formål til halvledere, skærme og hukommelsesenheder.
Produktformat	Cirkulært plan ruteniummål	Standard specifikationer, kompatibel med det meste forstøvningsudstyr.
	Rektangulært/blok-formet rutheniummål	Velegnet til belægning på store-områder.
	Roterende rutheniummål	Velegnet til store-aflejringer med høj-effektivitet.

Anvendelse

Halvledere: DRAM/MIM kondensatorelektroder, sammenkoblede diffusionsbarrierelag.
Avanceret lagring: Magnetisk lagring, Phase-Skift hukommelse, resistiv hukommelse.
Integreret kredsløb: Kobber Interconnect Seed Layer, Barrier Layer og Logic Device.
Skærmenheder: Flade-skærme, OLED tynde-filmelektroder.
Optoelektronik og fotovoltaik: Optiske belægninger, funktionelle lag af fotovoltaiske celler.
Præcisionselektronik: Slidbestandige-elektriske kontakter, tykke-filmmodstande, sensorer.

Populære tags: ruthenium mål, Kina ruthenium mål producenter, leverandører, fabrik